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【2h】

Remote plasma and thermal ALD of Al2O3 for trench capacitor applications

机译：用于沟槽电容器应用的Al2O3的远程等离子体和热ALD

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Hemmen, van, JL Hans; Heil, SBS Stephan; Klootwijk, JH; Roozeboom, F Fred; Hodson, CJ; Sanden, van de, MCM Richard; Kessels, WMM Erwin;
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年度 2007
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